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MEMS非接觸式溫度傳感器的特點以及使用范圍介紹

2019-03-28

  MEMS非接觸式溫度傳感器的特點以及使用范圍介紹


  歐姆龍曾在國際福利機械展上推出新型的非接觸式溫度傳感器。這種傳感器在檢測部位應用了歐姆龍獨特的MEMS技術,具有可感測紅外線的高靈敏度。接下來歐姆龍代理商鼎悅電子對MEMS非接觸式溫度傳感器的特點以及使用范圍做具體介紹。


  由于MEMS技術,傳感器元件被縮小到150微米,將傳感器元件排成16*16的陣列時,芯片尺寸只有6mm見方,據稱為"業界最小水平",靈敏度提高至原來的7倍。


  鼎悅電子表示,非接觸溫度傳感器具有攝像頭及熱釋傳感器所不具備的特點,即對照明環境適應性強,可感應到處于靜止狀態的人。但因其靈敏度較低,需要縮小感應區域。因此,要在較大的空間內進行檢測,需要安裝用來驅動非接觸溫度傳感器的機構以及多個傳感器,所以目前尚未普及。


  普通的非接觸溫度傳感器元件,很多紅外線都會穿透紅外線吸收膜,因而靈敏度較低。此次通過采用在開發液晶用背照燈時培育的光波控制技術,開發出了可使紅外線匯聚到紅外線吸收膜的微鏡。開發這種微鏡時,研究人員在以往很難形成曲面的硅晶圓上制作出了自由曲面。 由于可在硅晶圓上形成微鏡,因此能在晶圓級別上使傳感器元件與鏡片進行真空接合,從而減少釋放到空氣中的熱量,以此提高靈敏度。可在保持響應速度不變的情況下將靈敏度提高至原來的7倍。這樣,便可使感應區域擴大至原來的7倍。據介紹,芯片的靈敏度為350V/W,響應速度為3ms左右。


  MEMS非接觸式溫度傳感器的使用范圍:


  MEMS非接觸式溫度傳感器可以廣泛應用于身邊的節能型家電、BEMS、HEMS、甚至工廠自動化領域。感應區域擴大至原來的7倍后,可在店鋪及車站等場所,實時檢測人群的擁擠情況,由此可將非接觸溫度傳感器用于空調控制用途,還能用于檢測夜間有人闖入、甚至對靜止人物也能檢測高靈敏度的人體感應傳感器。


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