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歐姆龍MEMS流量傳感器D6F檢測原理有哪些方法?

2019-05-08

歐姆龍采用獨創的超細微加工技術,開發了裝配有流速檢測元件的MEMS流量傳感器D6F, 擁有引以為傲的世界最高級別靈敏度,甚至是1毫米/秒的氣體流速變化也能精確檢測。可以測量空氣、 天然氣以及LPG氣體等等,按測量類型來說主要分為三大類:1、測量空氣流速 2、測量氣體流量 3、測量空氣壓差。

三大特點:

1、高精度--通過 ASIC 的線性溫度補償實現 ±3%RD25 100% F.S.

2、高靈敏度--獨特的 MEMS 構造,對微風也能進行檢測

3、體積小--采用世界最小等級的 MEMS 元件,實現產品的小型化

其中,D6F-W/-V/-P等系列流量傳感器采用歐姆龍獨創的立體流路結構防塵性出色配備灰塵分離機構(旋風方式)減小了對傳感器芯片的影響,從而實現了高可靠性更小型化的尺寸可以安裝在任何位置,也適用多種用途


歐姆龍MEMS流量傳感器檢測原理在沒有氣體流動的情況下以加熱器為中心,溫度分布左右對稱。流動的狀態下,加熱器上風向的溫度低,下風向溫度高,溫度分布不再對稱。將該溫差作為熱電堆的電動勢之差進行傳感,可測量流量、流速而不影響溫度、壓力。此外,熱電堆為熱電動勢方式,與電阻式相比,有助于降低功耗。


    隨著國內天然氣市場的快速發展清潔能源也越來越受到大眾的重視。可以預見的是,歐姆龍小型、高性能MEMS流量傳感器,將會在智能燃氣表、燃料電池、燃氣鍋爐以及空氣能熱水器等應用領域擁有更多的機會。


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