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一文帶你了解MEMS流量傳感器

2020-06-07

MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-electro Mechanical Systems),是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比,具有體積小、成本低、功耗低、可靠性高、易于集成等特點(diǎn)。歐姆龍MEMS流量傳感器,采用其獨(dú)創(chuàng)的高精度加工技術(shù),將流量傳感器核心器件封裝在尺寸僅為1.5*1.55*0.4mm的MEMS芯片里面。這種超精細(xì)的MEMS傳感器,不但能檢測(cè)1毫米/秒的氣體流速變化,還能高精度地實(shí)現(xiàn)大批量生產(chǎn)。

流量傳感器內(nèi)部結(jié)構(gòu)

這種傳感器芯片采用使用熱線的質(zhì)量流量檢測(cè)方式。其芯片中央具有加熱器,上游側(cè)的熱電堆 (A)及下游側(cè)熱電堆 (B)配置在加熱器的 兩側(cè),熱電堆附近配置有基座測(cè)溫體,它們均是采用半導(dǎo)體工藝制造的。加熱器和熱電堆列組的底部形成空腔,使得熱電堆可高效檢測(cè)加熱器的熱量。



    流量傳感器的檢測(cè)原理

通過(guò)給MEMS芯片加恒定電流,使芯片中央的加熱器產(chǎn)生熱量。沒(méi)有風(fēng)通過(guò)時(shí),加熱器上游熱電堆和下游熱電堆由于熱平衡的關(guān)系,兩者對(duì)應(yīng)的熱電動(dòng)勢(shì)電壓相等,即Vu=Vd。當(dāng)有氣體流動(dòng)時(shí),熱源隨氣流方向向下游轉(zhuǎn)移,此時(shí)下游熱電堆的電動(dòng)勢(shì)變大,即Vd> Vu。兩個(gè)熱電堆的輸出差大致與通過(guò)傳感器表面的氣體質(zhì)量流量的平方根成正比。輸出靈敏度和質(zhì)量流量取決于氣體的組成比。微小的信號(hào)可以通過(guò)放大電路進(jìn)行放大,再以電子方式檢測(cè)氣體流量。風(fēng)量傳感器經(jīng)調(diào)整后輸出的電壓與質(zhì)量流量為 25°C、 101.3kPa 時(shí)的流速相當(dāng)。

    流量傳感器的應(yīng)用

堵塞檢測(cè)---投影儀、PC機(jī)、服務(wù)器

燃燒控制---燃料電池、熱水器、鍋爐

風(fēng)量檢測(cè)---管道、氣流測(cè)量、空調(diào)

加料速率控制---麻醉儀、制氧機(jī)

    歐姆龍D6F系列流量傳感器種類

    廣州鼎悅電子科技有限公司,專業(yè)代理歐姆龍電子元器件,為您提供各類傳感器、開(kāi)關(guān)、繼電器,以及連接器。歡迎與我們聯(lián)系。







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